Micro & Nanotecnologie

Le competenze in micro & nanotecnologie e i relativi laboratori sono parte del Chilab - Materials and Microsystems Laboratory afferente al Dipartimento di Scienza Applicata e Tecnologia (DISAT). Il laboratorio possiede una solida conoscenza tecnologica e di base nello sviluppo, caratterizzazione e manipolazione dei materiali su scala micro e nanoscopica. L'offerta tecnologica include ricerca di base e applicata sulla scienza dei materiali, processi per le micro e nanotecnologie e l'elettronica di potenza, progetto e fabbricazione di sistemi a base di silicio e polimerica, microsensori e Lab-On-a-Chip.

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Il laboratorio contribuisce alle attività del PEIC nelle seguenti aree di competenza:

  • Caratterizzazione strutturale e morfologica dei materiali e dei dispositivi tramite profilometria, microscopia elettronica, EDX, XPS, microFTIR, microRaman, angolo di contatto. Referente: Sergio Ferrero (sergio.ferrero@polito.it)
  • Caratterizzazione elettrica di materiali e dispositivi tramite misure voltamperometriche, di capacità e tensione e sfruttando l'effetto Hall (da 4 K fino a 500 K). Referente: Sergio Ferrero, (sergio.ferrero@polito.it).
  • Microlavorazioni, compresa la fotolitografia dei layout dei dispositivi (anche su doppia faccia), test di etching di materiali elettronici e MEMS tramite processi a secco e a umido, deposito di metalli, materiali dielettrici e pellicole in lega tramite CVD, PVD e galvanostegia, deposito/trasferimento su materiali bidimensionali (grafene), test di trattamento termico su materiali e dispositivi in forni ad alte temperature e trattamenti RTA. Referente: Matteo Cocuzza (matteo.cocuzza@infm.polito.it).
  • Lavorazioni polimeriche & Additive Manufacturing tramite la lavorazione di materiali elastomerici e termoplastici tramite hot-embossing, in-situ casting ed electrospinning e creazione di modelli per packaging e altre applicazioni usando stampa 3D polimerica. Referente: Luciano Scaltrito, luciano.scaltrito@polito.it.
  • Caratterizzazioni di dispositivi elettronici e materiali "speciali", Caratterizzazione di celle fotovoltaiche in condizioni AM1 - AM1.5, test e caratterizzazioni di materiali piezoelettrici. Referente:Andrea Lamberti (andrea.lamberti@polito.it).
  • Microlavorazioni laser tramite Laser Direct Patterning (LDP) (micro-structuring sulle superfici, creando pattern speciali e/o modificando le superfici), micro drilling (fori e tagli su scala microscopica utili per wire shaping, dispositivi meccanici microscopici, microfluidica e applicazioni di ottica), tagliatura (lavorazioni ad alta precisione), incisione, grafitizzazione, ... su diversi dispositivi e materiali, tra cui metalli (Rame, alluminio, acciaio, ottone, etc.) materiali ceramici, materiali vetrosi e polimeri (Ex. PC, PE, PMMA, PP). Referente: Luciano Scaltrito, (luciano.scaltrito@polito.it).